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掃描電鏡EDS有哪些分析功能

更新時(shí)間:2024-06-05    瀏覽量:201
 掃描電子顯微鏡(SEM)結合能量色散X射線(xiàn)光譜(EDS或EDX)技術(shù),能夠提供多種成分分析功能。以下是SEM-EDS的主要分析功能:

1. 定性分析

EDS可以識別樣品中的元素,通過(guò)檢測特征X射線(xiàn)峰來(lái)確定元素的存在。

元素識別:檢測并識別樣品中的所有元素,通常范圍從硼(B)到鈾(U)。

光譜分析:顯示樣品的X射線(xiàn)光譜圖,通過(guò)光譜中的特征峰來(lái)識別不同元素。

2. 定量分析

EDS不僅可以識別元素,還可以定量分析其含量。

元素含量:通過(guò)分析X射線(xiàn)峰的強度,計算樣品中各元素的重量百分比和原子百分比。

標準化方法:使用標準樣品進(jìn)行校準,提高定量分析的準確性。

3. 面掃描分析(Mapping)

EDS可以生成元素分布圖,顯示樣品表面各元素的空間分布情況。

元素分布圖:通過(guò)面掃描技術(shù),生成樣品表面各元素的二維分布圖像。

多元素映射:同時(shí)生成多個(gè)元素的分布圖,顯示不同元素在樣品中的共存和分布關(guān)系。

4. 線(xiàn)掃描分析(Line Scan)

通過(guò)沿指定的線(xiàn)掃描樣品表面,顯示元素沿該線(xiàn)的分布情況。

線(xiàn)掃描圖:沿指定線(xiàn)段掃描,顯示各元素信號強度隨位置的變化。

定量剖面:提供定量的元素分布剖面圖,顯示各元素在掃描線(xiàn)上的濃度變化。

5. 點(diǎn)分析(Spot Analysis)

對樣品的特定點(diǎn)進(jìn)行詳細的元素分析,適用于微小區域或特征的成分分析。

單點(diǎn)分析:對樣品中的某個(gè)特定微小區域進(jìn)行詳細的元素分析。

多點(diǎn)分析:在樣品不同點(diǎn)位進(jìn)行成分分析,比較不同區域的元素組成。

6. 厚度分析

利用EDS分析薄膜或多層結構樣品的厚度。

薄膜厚度:通過(guò)分析特征X射線(xiàn)信號的衰減,估算薄膜或多層結構的厚度。

分層結構:分析樣品的多層結構,確定每一層的厚度和元素組成。

7. 相分析

通過(guò)結合元素分布信息,對樣品中的不同相進(jìn)行分析。

相識別:根據元素組成和分布,識別樣品中的不同相或化合物。

相對比:分析不同相的元素組成和相互分布關(guān)系。

8.實(shí)際操作步驟

樣品準備:確保樣品表面導電,必要時(shí)進(jìn)行導電處理(如涂覆金屬層)。

SEM成像:使用SEM獲取高分辨率圖像,確定分析區域。

EDS設置:選擇適當的EDS分析參數,如加速電壓、束流強度和采集時(shí)間。

數據采集:定性分析:采集X射線(xiàn)光譜,識別樣品中的元素。

定量分析:根據光譜峰值強度計算元素含量。

面掃描和線(xiàn)掃描:進(jìn)行元素分布圖和線(xiàn)掃描圖的采集。

點(diǎn)分析:對特定點(diǎn)進(jìn)行詳細成分分析。

數據處理和分析:使用EDS軟件處理數據,生成光譜圖、分布圖和定量結果。

解釋和分析結果,確定樣品的成分和結構信息。

通過(guò)這些分析功能,SEM-EDS可以為材料科學(xué)、地質(zhì)學(xué)、生物學(xué)、冶金學(xué)等領(lǐng)域提供詳細的元素成分和分布信息。

澤攸科技ZEM系列臺式掃描電鏡

 

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